气相沉淀是什么
气相沉积法化学气相沉积(CVD)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术,包括大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料.从理论上来说,它是很简单的:两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室...