来自巢明的问题
请问PECVD中用的气体有哪些?有毒的呢?
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PECVD--等离子体化学气相沉积法为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD).实验机理：辉光放电等离子体中：电子密度高(109~...
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