【化学气相沉积和热蒸发法的区别是什么?看文献里制备ZnO纳米-查字典问答网
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  【化学气相沉积和热蒸发法的区别是什么?看文献里制备ZnO纳米线,不管是热蒸发还是CVD,都是整一个水平管式炉,陶瓷舟里一边放前躯体一边放Si片,最终都是在Si片上长出ZnO纳米线.难道二者是同一】

  化学气相沉积和热蒸发法的区别是什么?

  看文献里制备ZnO纳米线,不管是热蒸发还是CVD,都是整一个水平管式炉,陶瓷舟里一边放前躯体一边放Si片,最终都是在Si片上长出ZnO纳米线.难道二者是同一种方法?

1回答
2020-10-2622:32
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卢小峰

  这个问题也困扰我好久了!谢谢了!“热蒸发法是物理气相沉积,前体就是ZnO.CVD的前体一般是锌粉,在气流中有氧气反应生成ZnO,有时可能还用点催化剂,所以叫做化学气相沉积.我理解有这点差别”查看原帖>>

  求采纳

2020-10-26 22:37:25
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